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高速3D激光共聚焦显微镜

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高速3D激光共聚焦显微镜

NS-3500是一种可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构,如半导体晶片,FPD产品,MEMS设备,玻璃基板,材料表面等方面拥有优质的解决方案。 
货号:
规格:
按钮1,按钮2,按钮3
计量单位:
品牌:
交货周期:
3 months
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产品描述

NS3500三维激光共聚焦显微镜

NS-3500是一种可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构,如半导体晶片,FPD产品,MEMS设备,玻璃基板,材料表面等方面拥有优质的解决方案。 NS3500三维激光共聚焦显微镜

 

Features & Benefits(性能及优势):

  • 高分辨无损伤光学3D测量                               自动倾斜补偿

  • 实时共焦成像                                                 简单的数据分析模式

  • 多种光学变焦                                                 双Z扫描

    大范围拼接                                                    半透明基材的特征检测

  • 实时CCD明场和共聚焦成像                            无样品准备

  • 自动聚焦

Software (软件):

SoftwareSoftware

Application field(应用领域):

NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。

可测量微米和亚微米结构的高度,宽度,角度,面积和体积,例如

-半导体:IC图形,凹凸高度,线圈高度,缺陷检测,CMP工艺

- FPD产品:触摸屏屏幕检测,ITO图案,LCD柱间距高度

- MEMS器件:结构三维轮廓,表面粗糙度,MEMS图形

-玻璃表面:薄膜太阳能电池,太阳能电池纹理,激光图案

-材料研究:模具表面检测,粗糙度,裂纹分析

应用领域应用领域应用领域

Specification (规格):

 

Model

Microscope  NS-3500

备注

 

Controller    NS-3500E

物镜倍率

10x

20x

50x

100x

150x

 

观察/  测量范围  

水平 (H): μm

1400

700

280

140

93

 

垂直 (V): μm

1050

525

210

105

70

 

工作范围: mm

16.5

3.1

0.54

0.3

0.2

 

数值孔径(N.A.)

0.30

0.46

0.80

0.95

0.95

 

光学变焦

x1 to x6

 

总放大倍率

178x to 26700x

 

观察/测量光学系统  

针孔共聚焦光学系统

 

高度测量

测量扫描范围

精细扫描 : 400 μm (and/or) 长扫描 : 10 mm [NS-3500-S]

注 1

长扫描 : 10mm [NS-3500-T]

显示分辨率

0.001 μm

 

重复率 σ

0.010 μm

注 2

宽度测量

显示分辨率

0.001 μm

 

重复率 3σ

0.02 μm

注 3

帧记忆

像素

1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96

 

单色图像

12 bit

 

彩色图像

8-bit for RGB each

 

高度测量

16 bit

 

帧速率

表面扫描

20 Hz to 160 Hz

 

线扫描

~8 kHz

 

自动功能

自动增益

 

激光共焦测量光源

波长

405nm

 

输出

~2mW

 

激光等级

Class 3b

 

激光接收元件

PMT (光电倍增管)

 

光学观察光源

10W LED

 

光学观察照相机

成像元件

1/2” 彩色图像 CCD 传感器

 

记录分辨率

640x480

 

自动调整

增益, 快门速度, White balance

 

数据处理单元

PC

 

电源

电压

100 to 240 VAC, 50/60 Hz

 

电流

500 VA max.

 

重量

显微镜

Approx. ~50 kg

(Measuring head unit : ~12 kg)

 

控制器

~8 kg

 

隔振系统

电子隔振器

Option

 

精细和长距离扫描仪的双重扫描模式仅适用于NS-3500-S(单镜头类型)。                

注1:精细扫描由压电执行器(PZT)执行。

注2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品(步长1μm)进行100次测量。      

注 3 :以100×/ 0.95物镜对标准样品(5μm间距)进行100次测量。

关键词:
三维
NS3500
激光共聚焦显微镜
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